自從微機電(MEMS)在30年前由美國大學提出後，之後歷經不斷發展，日前業界更開始引進光學技術，進一步發展成所謂微光機電系統(Micro- Opto-Electro-Mechanical Systems；MOEMS)，其運用範圍包括小型健康照護元件與檢查印表機及電視顏色照明上。

據New Electronics網站報導，MEMS一詞最早在1986年由美國猶他大學(University of Utah)提出，歷經30年多後，MEMS早已從學術殿堂，目前已大量融入人類生活。MEMS運用相當廣泛，包括汽車安全氣囊感測器、噴墨印表機噴嘴與近 期出現的實驗室晶片(lab on a chip)。

另外同一期間，外界也開始發展微光學系統，直到1990年代二種技術開始整合，於是MOEMS正式出現，近幾年才有相關元件問世。

濱松光子學株式會社(Hamamatsu)便是推出採MOEMS技術產品的廠商之一。該公司工程師Jack Bennett表示，MOEMS確實從MEMS發展而來，但前者又加入光學技術，例如鏡片或光電二極體(photodiode)等偵測器技術 (detector technology)，未來甚至也可在系統內加入移動鏡(moving mirror)。

Bennett指出，MEMS除指產品外，其實也可代表製程技術。製造MEMS元件製程技術包括凸塊打線(bump bonding)、晶圓背薄(Back-thinning)、奈米壓印(Nanoimprinting)、蝕刻以及近期的直通矽穿孔(Through- Silicon Via)。

Bennett認為，MOEMS將可讓設計端加入更多創意，而且未來勢必會加入更多包括雷射等光學成分。等到引進奈米技術後，也可望產生所謂奈米微光機電系統(NOEMS)。

過去開發MEMS長達10年的濱松，未來也會跟進發展MOEMS。由於市場將成長，該公司固態部門未來將投入大量研發資金，以便提供更多整合產品。2014年濱松在日本興建一座開發與量產MOEMS元件與模組的工廠，其產品使用範圍包括汽車與智慧型手機等。

除在日本外，濱松也在瑞士成立由Peter Seitz教授主導的歐洲創新中心(European Innovation Centre)負責設計工作。

Bennett指出，MOEMS可發揮優勢領域之一為可攜式產品，而且MOEMS也會創造一種新產業出現，例如可攜式紅外光譜術(infrared spectroscopy)與空氣品質測量上。

另外，MOEMS將運用在小型健康照護元件上，例如能偵測血中氧或二氧化碳與脈搏裝置。不過，目前MOEMS元件整合至智慧型手機體積仍過大。展望未 來，MOEMS將會出現在物聯網(IoT)裝置上或擴增實境(Augmented Reality；AR)，甚至出現類似Google Glass的隱形眼鏡。

目前英國分析與學術部門對於MOEMS技術相當有興趣，其餘包括新創公司與電子公司也有興趣。濱松推出最新MOEMS產品之一，為C12666MA顯微光譜分析儀(Micro spectrometer)，該產品可運用在檢查印表機顏色或電視及電影RGB照明上。