羅姆半導體(Rohm Semiconductor)SiC材料晶圓生產線目前正全面由4吋轉為6吋,以因應市場對新材料功率半導體需求的成長。該社研究開發部長中村孝表示,2015年是SiC晶圓6吋化之年,該社將積極把SiC晶圓生產線全轉換成6吋。
羅姆子公司Rohm Apollo是SiC晶圓的前段晶圓廠,正加速進行4吋生產線轉換為6吋生產線的作業,當轉換完成後,羅姆的SiC功率半導體產能將增為現在的2倍以上;相關的後段封測廠如泰國廠、菲律賓廠與南韓廠也將配合進行設備投資。
由於傳統的Si材料功率半導體研發目前已達瓶頸,因此羅姆看好新材料SiC功率半導體的潛能,將之視為未來50年的高成長性產品,積極發展。中村孝表示,SiC功率半導體未來不僅將替代IGBT產品,該社還將積極開拓只有SiC才能開發的市場與需求。
除了比較傳統的電車、電力設施與工具機需求外,羅姆正針對電動車、油電混合車、太陽能發電系統、醫療系統、新款家電與科學研究設備等市場,推銷該社的SiC功率半導體產品,以SiC材料可承受更高電壓的特性,強化相關系統性能,同時擴大該社功率半導體事業。
羅姆的SiC功率半導體技術,源自2009年購併的德國半導體廠SiCrystal;德國在1994年推動SiC單結晶成長技術研發,為推廣研發成果,在 1997年成立SiCrystal公司,2001年起量產SiC晶圓,原本該社的SiC晶圓生產線有2/3/4吋等3種規格,為擴大產能,該廠從2014 年起增加6吋SiC晶圓生產線。
中村孝表示,該社在SiC功率半導體研發上,將針對從傳統Si功率半導體轉換為SiC功率半導體的應用市場,與只有SiC功率半導體才能開發的新市場等雙 方面,積極研發與行銷,提高SiC功率半導體的價值;而隨生產線上晶圓面積的增大,除產能增強外,同時也有助於壓低成本。
功率半導體是用在電源相關系統的半導體,進行電源控制與轉換,傳統均以Si材料半導體為主,但在高功率半導體方面,Si材料短時間內難求大幅進步,而電動 車與智慧電網卻帶來更大的相關需求,因此日本政府與半導體業界均積極推動新材料功率半導體、如SiC或GaN,視為未來的發展重點。